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簡要描述:德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺敞開式直線光柵尺設(shè)計用于對測量精度要求*的機床和系統(tǒng)。典型應(yīng)用包括:半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備PCB電路板組裝機超高精度機床高精度機床測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備直驅(qū)電機
詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),石油,地礦,電子,交通 |
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德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺
線性比例尺
集成電路4003
測量標(biāo)準(zhǔn)
線膨脹系數(shù)*
玻璃陶瓷或玻璃上的冶金光柵
αTherm?8·10–6 K–1(玻璃)
αtherm=(0±0.5)·10–6 K–1(Robax微晶玻璃)
精度等級*
?1微米(僅適用于Robax玻璃陶瓷),?3微米,?5微米
基線誤差
≤±0.275微米/10毫米
測量長度(ml)*
在毫米
240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440
2640 2840 3040(Robax微晶玻璃,多1640毫升)
質(zhì)量
3 g+0.11 g/mm測量長度
掃描頭
LIC 411
LIC 419 F
LIC 419 m
LIC 419 P
LIC 419 Y
界面
恩達2.2
法努克
串行接口αi
三菱高速接口
松下
串行接口
安川電氣
串行接口
德國海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺
訂貨名稱*
EnDAT22
FANU05
MIT03-4
MIT02-2
PANA01
YEC07
測量步驟*
0.01微米(10納米)
0.005微米(5納米)
0.001微米(1納米)1)
計算時間tcal
時鐘頻率
小于5μs
小于16兆赫
-
穿越速度2)
不大于600 m/min
插值誤差
±20 nm
電氣連接*
電纜,1米或3米,帶8針M12連接器(外螺紋)或15針D形接頭(外螺紋)
電纜長度(帶海德漢電纜)
小于100米
小于50米
小于30米
小于50米
供電電壓
直流3.6伏至14伏
功耗2)(大值)
3.6伏時:≤700兆瓦
14伏時:≤800兆瓦
3.6伏時:≤850兆瓦
14伏時:≤950兆瓦
電流消耗(典型)
5伏時:75毫安
(無負載)
5 V:95毫安(無負載)
振動55赫茲至2000赫茲
沖擊6毫秒
小于等于500 m/s2(EN 60068-2-6)
小于等于1000 m/s2(EN 60068-2-27)
工作溫度
–10°C至70°C
質(zhì)量掃描頭
連接電纜
連接元件
不超過18克(無電纜)
20克/米
m12聯(lián)軸節(jié):15g;d-分接頭:32g
*訂購時請選擇
1)三菱:測量長度≤2040 mm
安川:測量長度≤1840 mm
2)見海德漢編碼器手冊接口中的一般電氣信息
Robax是德國美因茨Schott Glaswerke的注冊商標(biāo)
詳見:海德漢HEIDENHAIN敞開式直線光柵尺
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